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半导体 chiller 常规型

  • 温控精度±0.5℃控制蒸发温度
  • 温度范围-40℃~-15℃
  • 制冷@-35℃0.5KW~4KW
  • 制冷剂R404A可选配R507C R448
  • 电源 220V 50HZ

半导体投入大，制造工序多，为了提高产品的良品率、确保收益，需要在半导体的每个环节进行质量把控，影响产品质量的其中一个重要因素就是温度，温度的稳定性及精准度非常重要，为获得稳定可靠的产品保驾护航。

俄罗斯贵宾会循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验，我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务，有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

型号FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
温度范围5℃～40℃
控温精度±0.1℃
流量控制10～25L/min  5bar max15～45L/min  6bar max25～75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R410A
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  （DI温度需要控制10℃以上）
进出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷却水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷却水流量at20℃1.5m³/h2m³/h2.5m³/h4m³/h4.5m³/h5.6m³/h9m³/h
电源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
温度扩展通过增加电加热器，扩展-25℃～80℃

型号FLT-202FLT-203FLT-204FLT-206FLT-208FLT-210FLT-215
FLT-202WFLT-203WFLT-204WFLT-206WFLT-208WFLT-210WFLT-215W
温度范围-25℃～40℃
控温精度±0.1℃
流量控制10～25L/min ±0.315～45L/min ±0.325～75L/min ±0.3
流量控制采用变频器调节，循环泵最大压力5bar
制冷量at-15℃2kw3kw3.8kw6kw7.6kw10kw15kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R404A
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷却水接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1ZG1 1/8
冷却水流量at20℃1.2m³/H1.6m³/H2.6m³/H3.6m³/H5.5m³/H7m³/H10.2m³/H
电源380V3KW4KW6KW8KW9KW13KW17KW
温度扩展通过增加电加热器，扩展-25℃～80℃

型号FLT-402FLT-403FLT-404FLT-406FLT-408FLT-410FLT-415
FLT-402WFLT-403WFLT-404WFLT-406WFLT-408WFLT-410WFLT-415W
温度范围-45℃～40℃
控温精度±0.1℃
流量控制10～25L/min  5bar max15～45L/min 6bar max25～75L/min 6bar max
制热采用压缩机制热，防止冷凝器结霜技术
制冷量at-35℃1kw1.4kw1.8kw2.5kw3.3kw5kw8kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R404A
载冷剂硅油、氟化液、乙醇水溶液等
进出接口尺寸ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG3/4
冷却水接口ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷却水流量at20℃1.5m³/H2.4m³/H3.5m³/H5m³/H5.5m³/H6m³/H8m³/H
电源380V3KW4KW6KW7.5KW9KW12KW15KW
温度扩展通过增加电加热器，扩展-25℃～80℃

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