Chiller 双变频

半导体chiller 半导体温控装置Chiller

温控精度±0.1℃
温度范围-30℃~40℃
泵压力6bar max
内循环液容积8L
电源 220V 50/60HZ

半导体投入大，制造工序多，为了提高产品的良品率、确保收益，需要在半导体的每个环节进行质量把控，影响产品质量的其中一个重要因素就是温度，温度的稳定性及精准度非常重要，为获得稳定可靠的产品保驾护航。

俄罗斯贵宾会循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验，我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务，有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

型号	FLTZ-305W	FLTZ-305W/2T 双系统
温度范围	-30℃~40℃	-30℃~40℃	-30℃~40℃
控温精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
流量控制	15～45L/min ±0.3	15～45L/min ±0.3	15～45L/min ±0.3
泵压力	6bar max	6bar max	6bar max
制热	2.5kw	2.5kw	2.5kw
制冷量@15℃	11kw	11kw	11kw
制冷量@-15℃	5kw 约4500rpm	5kw 约4500rpm	5kw 约4500rpm
内循环液容积	8L	8L	8L
膨胀罐容积	15L	25L
导热介质	氟化液、防冻液、导热硅油等
导热介质接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
冷却水接口	ZG3/4	ZG3/4
冷却水	30L/min @20℃	60L/min @20℃
电源	220V 50/60HZ	220V 50/60HZ
断路器	40A	80A
尺寸	4507001600	6508501600
	选配3.5kw电加热，温度可扩展到90℃，电源需要改成380V