热流仪AET系列
压缩空⽓进⼊⽓体快速温变测试机,内置有⼲燥器,预先把⽓体⼲燥到露点温度-70度以下,进⾏制冷加热控温输出稳定流量压⼒恒温的⽓体,对⽬标对象进⾏控温(如各类控温卡盘、腔体环境、热承板、料梭、腔体、电⼦元件等),可根据远程卡盘上的温度传感器进⾏⼯艺过程控温,自动调节输出⽓体的温度。
AET系列
型号 | AET-4025 | AET-4050 | AET-4095W | AET-7025 | AET-7050W | AET-7095W |
AET-4025C | AET-4050C | AET-4095WC | AET-7025C | AET-7050WC | AET-7095WC | |
温度范围 | -40℃~250℃ | -75℃~250℃ | ||||
控温精度 | 气体出口控温士0.1°C,远距离工艺过程温度控温精度士0.5°C可选择控制出口气体温度和工艺目标过程温度 | |||||
升级温速率 | 设备出口气体温度升降温速率大于30°C/min,可做梯度升降温 | |||||
空气要求 | 空气滤清器<5um 空气含油量<0.1um 空气温湿度:5°C-32℃ 0-50%RH 压力4bar~8bar | |||||
空气处理 | 22m³/h | 50m³/h | 95m³/h | 22m³/h | 50m³/h | 95m³/h |
节流方式 | 制冷系统采用电子膨胀阀节流,精准控制冷量 | |||||
控制器 | PLC可编程控制器,标配支持ModbuSRTU协议,RS485接口,可选择其他通信协议 | |||||
显示记录 | 7寸彩色触摸屏,可显示气体温度、压力、流量,制冷系统压力温度 | |||||
过程控温 | 自创无模型自建树算法与一般抗滞后串级算法相结合,控制工艺过程温度 | |||||
尺寸cm | 43*46*112 | 52*57*132 | 60*63*160 | 54*69*112 | 65*85*132 | 75*95*160 |
备注 | 后缀W代表水冷后缀c代表气体循环利用 |
产品优势:
广泛应用于:芯片,微电子器件,集成电路、闪存Flash、传感器、小型模块组件光通讯、航空航天新材料等性能分析、高低温温变测试、温度冲击测试、失效分析等可靠性试验;
-75~+250℃控温范围
±0.1℃控温精度
可定制