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半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，控温范围：-45℃～+90℃；控温精度：±0.05℃。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。

chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。

半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，控温范围：-100℃～+90℃；控温精度：±0.05℃。低温采用复叠制冷系统，制冷速度快，温度低；公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。
 

产品采用无压缩机制冷系统，实现控温范围：5℃～+90℃；控温精度：±0.05℃。

chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。
 

多通道独⽴控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等，采⽤独⽴的两套系统，根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷，或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统，系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却⽔系统等，可以有效减少设备尺⼨，减少操作步骤。