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ZLJ系列

直冷控温机组ZLJ系列

product & project

将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进⼊⽬标控制元件(换热器)换热,从⽽使⽬标控制对象降温。具备换热能⼒相对于流体(⽓体)输送⼊换热器换热能⼒更⾼⼀般在5倍以上,这样特别适⽤于换热器换热⾯积⼩,但是换热量⼤的运⽤场所。也可以如⽓体捕集运⽤,将制冷剂直接通⼊捕集器蒸发,通过捕集器表⾯冷凝效应,迅速捕集空间中的⽓体。

Chiller直冷控温机组

zlj系列

温度控制范围:-150℃ 至 -15℃

适用于半导体晶圆厂的刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积工艺制程,对ETCH、CVD、PVD制程设备的反应腔体进行精确控温

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-40℃~-15℃
型号ZLJ-41ZLJ-43ZLJ-46
ZLJ-41WZLJ-43WZLJ-46W
温度范围 -40℃~-15℃
控温精度±1℃(出口温度稳态)
制冷AT-35℃0.5kW1.6kW3.2kW
制冷剂R404A 可选配R507C R448
高温降温具备高温150度直接降温技术,满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
尺寸320*400*600800*700*600450*700*1350
断路器6A6A16A
 -80℃~-50℃
型号ZLJ-81ZLJ-83ZLJ-86
ZLJ-81WZLJ-83WZLJ-86W
温度范围 -80℃~-50℃
控温精度±1℃(出口温度稳态)
制冷AT-70℃0.4kW1.3kW2.5kW
制冷剂R404A/R508B
高温降温具备高温150度直接降温技术,满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
尺寸320*630*650950*1000*800550*1000*1750
断路器10A16A25A
-150℃~-110℃
型号SLJ-3WSLJ-4WSLJ-6WSLJ-11W
温度范围-150℃~-110℃
制冷AT-120℃3kW4kW6kW11kW
制冷AT-135℃2.5kW3.3kW5kW9kW
制冷剂LNEYA -150混合制冷剂
尺寸750*750*1750750*750*1750950*1000*20501300*2000*3500
断路器40A55A65A100A

产品优势:

-40~-100℃控温范围
±5℃控温精度
5000+年产量


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