Chiller 换热型系统无压缩机

半导体chiller 半导体温控装置Chiller

冷却能力5KW~30KW
温度范围冷却水温度+5℃~90℃ ±0.3℃
储罐容积6L~15L
尺寸480*750*390/480*750*500

半导体投入大，制造工序多，为了提高产品的良品率、确保收益，需要在半导体的每个环节进行质量把控，影响产品质量的其中一个重要因素就是温度，温度的稳定性及精准度非常重要，为获得稳定可靠的产品保驾护航。

俄罗斯贵宾会循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验，我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务，有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

型号	ETCU-005W	ETCU-008W	ETCU-015W	ETCU-030W
温度范围	冷却水温度 +5℃~90℃ ±0.3℃
冷却水温度	7℃~30℃ 采用西门子/霍尼韦尔调节阀控制冷却水流量
冷却能力	5kw	8kw	15kw	30kw
	测试条件：zui大循环量时，控温温度与冷却水温度温差15℃
循环泵流量	7~20L/min 5bar	7~20L/min 5bar	15~40L/min 5bar	20~60L/min 5bar
储罐容积	6L	8L	10L	15L
尺寸	480750390	480750390	480750390	480750500
电源	220V 50HZ/60hz 0.6kw		220V 50HZ/60hz1.3kw	220V 50HZ/60hz 1.6kw